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半导体晶圆温度控制器
参考价:

型号:Unichiller 060T-H

更新时间:2024-03-13  |  阅读:2855

详情介绍

与自来水冷却方式相比,半导体晶圆温度控制器提供更高效率。提供稳定的压力和传递性能,以及恒定的冷却水温度。降低水耗量,保护环境,降低操作成本。适用于化学反应中散热,制冷技术设备,以及实验室集中冷却水供应。 所有Unichillers 适用于在高达 +40°C的环境温度下连续工作。选择露天保护和冬季操作模式,可以即将其放在户外使用。扩展泵压力和流量可以应用于高压降。


半导体晶圆温度控制器参数:
一般信息和温度控制器
温度范围-20...100 °C
温度稳定性±0,2  °C
控制器Pilot ONE  (E-grade "Basic")  
安全等级III / FL
保护级别IP20
外形尺寸 (宽 x 长 x 高)600 x 692 x 1613  mm
重量228  kg
加热/制冷功率
加热功率  2  kW
制冷功率
150-10-20°C
652,81,4kW
制冷方式air-cooled
制冷剂R449A (A1, H280)
循环泵    
压力泵大值80  l/min ; 5,6  bar
泵连接螺纹尺寸G1 1/4 AG male
连接件
Pt100连接件Pt100
数字接口RS232, Ethernet, USB Device, USB Host
操作数据
允许的环境温度5 ...40 °C
小填充体积5  L
膨胀容器填充体积7,5  L
电源400V 3~ 50Hz *


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